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深圳净化车间装修净化车间的温度和湿度该如何控制?

人气: 69 发表时间:2020-10-22 07:07:08    无尘车间装修

净化车间在运行过程中需要严格控制车间内的温度和湿度,来保证正常运作和员工舒适,具体应该怎么控制?下面兴富源的小编为大家详细解说

1.净化室的温度湿度关键依据加工工艺规定明确,但在考虑加工工艺规定的标准下,要考虑到人的舒适度。随之气体净化度规定的提升,对温度和湿度的规定愈来愈严苛。

2.净化工程温度的实际规定将在后边列举,但做为通常标准,随之生产加工精密度的提升,对温度起伏范畴的规定会愈来愈小。比如,在规模性集成电路芯片造成的光刻曝出全过程中,夹层玻璃与硅片做为掩模原材料的线膨胀系数差规定愈来愈小。直徑100um的硅片,温度升高1度,就造成了0.24um线形澎涨,因此务必有±0.1度的控温,另外规定湿度值较低,由于人流汗之后,对商品将会有环境污染,非常是钠的半导体材料生产车间,这类生产车间不可超出25度。

3.高湿度会造成大量的难题。当空气湿度超出55%时,冷却循环水壁厚曝露。假如它产生在高精密机器设备或电源电路中,就会造成各种各样安全事故。空气湿度通常在50%锈蚀。除此之外,当湿度很高时,粘附在硅片表层的尘土会被气体中的氧分子有机化学地粘附在表层,它是没办法除去的。空气湿度、粘结性越高,则越难除去,但当空气湿度小于30%时,又因为静电感应颗粒物对表层吸咐的危害,还非常容易对很多集成电路工艺造成热击穿。硅片生产制造的最好温度范畴是35 - 45%。


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